摘要：根据光刻机光场均匀性校正器的定位控制特点，设计了阵列式音圈电机定位控制系统，提出了复合非线性反馈（CNF）结合干扰观测器（DOB）的控制算法。根据设计的控制系统物理模型，完成算法设计与仿真比较，并在实验装置中实现定位控制。仿真和实验结果表明，阵列式音圈电机定位控制系统和控制算法能够满足实际需求，且能抑制外界扰动，具有响应速度快、超调量低、定位精度高和鲁棒性强等优点。

关键词：均匀性校正器；音圈电机；CNF；DOB