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标题：可挠线圈作定子结构的微型永磁马达的制作与研究 |
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作者：张正中，葛健芽，杨晓红，方晓汾 |
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| 2019年第12期 访问次数：239次 |
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摘要：设计和制作了一种直径为1.5mm圆筒型微型永磁同步马达，应用永磁体钕铁硼为马达转子，马达定子采用可挠线圈与导磁外壳相结合的结构；可挠线圈的制作采用准LIGA工艺，利用厚层光刻胶KMPR1050制作微模具，以电铸方法制作线圈；研制了微型马达样机，测试结果显示该微型马达最高转速可达7000r/min，轴偏摆为22，为微型永磁同步马达进一步设计与开发提供了参考价值。
关键词：微型永磁马达；可挠线圈；LIGA工艺；电铸；厚层光刻胶 |
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