摘要：六自由度磁悬浮平面电机是一种新型特种电机，具有六自由度运动、直接驱动、无机械摩擦、结构紧凑等特点，在光刻机等精密制造领域极具应用前景。然而，由于该类电机具有多变量、非线性、强耦合等突出特性，难以精确获取其动力学模型。为此，论文提出基于递推阻尼最小二乘辨识的六自由度磁悬浮平面电机动力学模型。首先，推导了六自由度磁悬浮平面电机的动力学模型。其次，基于多新息最小二乘法创新的引入阻尼项建立了递推阻尼最小二乘法，之后，利用Matlab对所提出方法进行仿真，获得电机在X、Y自由度上的辨识模型。最后，通过仿真验证了所建立动力学模型的准确性，实际系统与辨识模型之间的X、Y自由度上的均方误差分别为22.42 nm、7.11 nm。 |
